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Reinraum als anlagen-integrierte Lösung

Integrierte, partielle Reinraumlösung am Beispiel der Rotationsbeschichtung (Spin Coating)

In unseren SpinCoatern sind je nach bauseitig lüftungstechnischer Vorgabe HEPA- oder ULPA-Filter (Filterklasse H14 oder U17) integriert oder es werden Fan-Filter-Units (FFU´s) zum Ansaugen der Umgebungsluft aufgesetzt. Durch die Filteranordnung und aufgrund der gerichteten Luftströmung entsteht im Arbeitsbereich die für den Dünnschichtprozess erforderliche saubere und verwirbelungsarme Atmosphäre.

 

SpinCoater mit Workbench unter Flowfeld
SpinCoater mit Workbench unter Flowfeld
Reinraum im GerätCleanroom inside

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